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                掃描電子顯微鏡對樣品有哪些要求?其影像的影響因素有哪些?

                發布時間:2021-04-23      點擊次數:1806
                掃描電子顯微鏡基本要點是用極狹窄的電子束來掃描樣品,即電子束在樣品上作光柵運動。電子束與樣品相互作用將會產生樣品的二次電子發射,二次電子能產生樣品表面放大的形貌像,這個像是在樣品被掃描時按時序地建立起來的,即用逐點成像的方法獲得放大的像。
                 
                掃描電子顯微鏡對樣品的要求:
                 
                1、不會被電子束分解
                2、在電子束掃描下熱穩定性要好
                3、能提供導電和導熱通道
                4、大小與厚度要適于樣品臺的安裝
                5、觀察面應該清潔,無污染物
                6、進行微區成分分析的表面應平整
                7、磁性試樣要預先去磁,以免觀察時電子束受到磁場的影響
                 
                顯微鏡影像品質的影響因素有:
                 
                A. 電子槍的種類:使用場發射、LaB6或鎢絲的電子槍。
                B. 電磁透鏡的完善度。
                C. 電磁透鏡的型式: In-lens ,semi in-lens, off-lens
                D. 樣品室的潔凈度: 避免粉塵、水氣、油氣等污染。
                E. 操作條件: 加速電壓、工作電流、儀器調整、樣品處理、真空度。
                F. 環境因素: 振動、磁場、噪音、接地。
                上海曼戈斐光學技術有限公司
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